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PlantU FDC AI+ :AI让海量设备参数“会说话”,缺陷监测更精准、更高效
2026-10-28
PlantU FDC AI+ :AI让海量设备参数“会说话”,缺陷监测更精准、更高效


PlantU FDC AI+ :AI让海量设备参数“会说话”,缺陷监测更精准、更高效


本期《AI Factory》专栏聚焦赛美特PlantU FDC的AI能力升级——PlantU FDC AI+,介绍工业软件融合AI技术,进一步提升智能异常侦测与工程分析的应用价值。


在半导体制造中,FDC通过采集设备数据、监控关键参数并触发异常告警,连接监控规则与OCAP处置流程,是工程师掌握设备状态、开展异常处理的重要工具。但在实际应用中,传统FDC普遍面临现实挑战:海量参数筛选依赖人工经验,参数未超限时异常变化难以捕捉,多告警并发时排查方向不清晰,工艺变化后模型容易衰减、误报增加。单纯增加规则,往往治标不治本。


这正是赛美特全新升级PlantU FDC AI+要解决的问题。作为面向半导体制造的智能缺陷侦测及异常分析能力升级,PlantU FDC AI+在既有FDC功能之上,融合大数据平台、深度学习与大模型能力,以智能选参让监控配置更聚焦,以自动建模让异常识别更深入,以模型自适应让模型持续保持精准。


通过对原有FDC功能的增强,PlantU FDC正在从传统的“规则触发式监控”向“规则+AI融合式监控”演进,最终做到降误报、降漏报、提高模型精准度,让异常侦测更精细、更高效、更有依据。






从制造需求出发,

让AI融入生产关键环节




工业AI的应用,不是简单的通过AI技术赋能,而是要让算法理解设备数据与工艺过程的变化,并将分析结果转化为可供工程师判断和使用的监控能力。


在PlantU FDC AI+中,大数据平台为数据分析、模型训练和反馈优化提供基础;机器学习与深度学习用于识别参数变化、过程形态及多变量关联;大模型则可用于制造知识检索、异常背景归纳、辅助分析与报告生成,帮助工程师更高效地获取和整理信息,主要体现在以下方面:


让数据与制造经验共同参与监控建设

面对海量设备参数,AI的价值在于帮助工程师找到真正有监控价值的参数。新机台导入、工艺变更或模型建设时,工程师需从大量SVID中筛选关键监控对象。参数的稳定性、数据质量及异常反映能力,需结合历史数据与专业经验判断。人工逐项分析工作量大,也易受个人经验限制。


PlantU FDC AI+的智能选参功能将历史运行数据分析与制造领域知识结合,自动评估并筛选设备参数,从多个维度综合判断参数价值,推荐关键监控参数及优先级,同时提供推荐依据和置信度,方便工程师审核、验证和追溯。这让参数筛选有了更多数据支撑,也为后续检测模型提供更有效的输入。


让异常识别从单点判断走向过程与关联分析

生产异常不一定表现为参数超限,也可能隐藏在波形变化或多参数关联中。即使参数在控制范围内,变化趋势、局部波动或参数间关联的改变,仅靠单点阈值或独立参数监控难以捕捉。


针对不同需求,PlantU FDC AI+通过AI自动建模,从单参数的完整运行轨迹与多参数之间的协同关系两个角度拓展异常识别。单参数全轨迹检测中,FTPD以单个SVID的完整Trace为对象,学习正常工艺时序形态和变化规律,识别整体偏移、局部突变和波形偏离,并通过0–100异常分数和区间标注判断程度与位置。多参数关联检测中,CSPD分析多个SVID在正常工况下的协同关系,当单参数未越限但关联结构改变时,可识别组合异常,并分析各参数贡献,辅助定位关键参数。


这些方式并非简单增加告警规则,而是从正常运行规律、过程变化和参数关联中挖掘更多异常线索。


让模型随生产变化持续优化

制造现场持续变化,模型也需在实际运行中检验。新材料导入、工艺调整、设备老化等因素会改变参数分布和正常运行模式,模型可能出现检测效果下降、误报增加。


PlantU FDC AI+具备模型自适应功能,支持持续监测模型输入、异常分数及关键数据分布变化,识别数据漂移和性能衰减风险,并将工程师对有效异常、误报、漏报的确认结果沉淀为反馈样本。结合新增数据和现场反馈,系统支持增量学习、阈值优化和周期性重训,候选模型经效果对比验证、达到上线标准后再切换版本,且支持回退。


让异常信息转化为更清晰的排查线索

发现异常只是第一步,快速找到排查方向同样重要。一次异常可能触发多条告警,工程师需核对异常时间、设备、腔室、配方及关键参数,并结合历史记录判断关联性。缺乏有效信息组织,告警处理易陷入重复查阅和人工整理。


PlantU FDC AI+将AI延伸至告警处理与异常分析:同源、同类及关联告警可聚合为统一异常事件,集中呈现关键信息,减少重复告警干扰;系统可结合异常类型关联历史案例与处置记录,提供辅助分析和建议,帮助工程师了解背景、识别排查重点;同时支持自动生成日报、周报、月报,从设备、配方、异常类型等维度统计,为趋势分析、问题跟踪和复盘提供支持。在此环节,AI不是独立完成处置,而是减少信息整理成本,让异常信息更有条理。


由此形成检测、反馈、学习、验证的持续优化机制。工业AI的价值不仅体现在某一次异常识别中,更体现在模型能否在长期运行中持续积累经验,并以可验证、可追溯的方式不断优化。





兼容既有FDC,

让AI升级更贴近实际应用




从监控体系建设、日常运行到异常排查与模型维护,PlantU FDC AI+将AI能力融入FDC的不同应用环节,与原有的数据采集、规则监控、异常告警及异常处置流程(OCAP)等能力协同,让监控配置、异常分析与模型优化能够更好地衔接。


对于已经部署FDC的半导体制造企业,AI智能化升级还需要考虑既有系统、监控规则、工程经验及生产流程的延续。PlantU FDC AI+可在已有FDC能力基础上进行AI增强,支持与传统监控能力兼容并存。对于已有 FDC 系统的产线,可结合现有数据与接口条件,评估并扩展AI功能,将相关智能能力逐步融入既有工作流程。


对于新建需求,赛美特也可提供涵盖数据采集、规则监控、异常告警、异常处置及AI增强能力的FDC方案,支持企业根据实际生产需求建立监控体系。


无论是已有系统的能力升级,还是新建产线的监控体系建设,AI的引入都需要立足实际生产条件,兼顾技术能力、工程经验与业务流程,让智能化升级与现有制造体系相衔接。


对于半导体制造而言,AI 的融入需要理解设备运行、工艺过程及异常处置中的实际需求,并与工业软件既有的业务逻辑和工作流程相结合。赛美特 PlantU FDC AI+的升级实践,正是从这些实际需求出发,将AI能力融入FDC的关键应用环节,在既有监控能力与工程经验的基础上,进一步拓展参数分析、异常检测、辅助排查和持续优化的能力。


从理解数据,到识别异常,再到支持工程分析与模型演进,AI与工业软件的深度融合,让技术创新真正回应制造需求,让软件能力在生产实践中持续释放价值。面向半导体制造的复杂场景,赛美特将继续探索工业软件与 AI 的融合应用,以对制造业务的理解为基础,推动智能能力融入实际生产流程,为企业提升生产监控与工程分析能力提供支持。



往期回顾




关于赛美特

赛美特,备受客户信赖的智能制造软件方案供应商,自研全自动化CIM解决方案已在多家12吋晶圆厂获得量产验证。


业务领域包含半导体业、光伏产业、电池制造、装备制造、化学工业、汽车零部件等,为工厂的可持续发展提供高效灵活的运营管理平台,助推制造企业朝着智能化、自主化、绿色化方向发展。

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