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缺陷管理系统/PlantU DMS
缺陷管理系统/PlantU DMS

具有强大互动式界面的缺陷分析与缺陷数据自动化处理系统，可以大幅提升缺陷改善率，加速缺陷原因调查，能将缺陷检测设备产生的数据进行处理，并提供友善的缺陷分析界面，提高缺陷分析效率。

产品功能
缺陷数据处理自动化：系统可自动处理来自 AOI 或其他半导体缺陷检测设备的数据，包括缺陷文件的转移、格式转换与数据库导入；通过兼容多种检测机台的数据格式
缺陷互动分析：提供了高度互动的分析界面，也提供了各式进阶的缺陷分析功能，如：Stack Map、Defect to CP、Defect Zone analysis等产业应用
导入效果
  • 1
    缺陷图分析：透过缺陷图查看，确认缺陷地理位置分布趋势，亦可针对缺陷查看图片，并进行光罩与区域重复性等分析行为
  • 2
    缺陷图分析：透过缺陷图查看，确认缺陷地理位置分布趋势，亦可针对缺陷查看图片，并进行光罩与区域重复性等分析行为
  • 3
    缺陷图片分类：缺陷图片经由人员判断、归类图片可作为制程真因参考，快速根据图片进行缺陷分类，可提升工程人员缺陷真因查找的效率
  • 4
    缺陷对电测数据叠图：缺陷对于良率的影响可透过Kill Ratio分析进行缺陷杀伤力层级分类
  • 5
    缺陷对电测数据叠图：缺陷对于良率的影响可透过Kill Ratio分析进行缺陷杀伤力层级分类
  • 6
    支持Al算法：自动识别缺陷点位空间规则特征，快速锁定非随机异常
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